首頁 >>> 產(chǎn)品目錄 >>> 日本大和科學(xué)株式會社產(chǎn)品YAMATO SCIENTIFIC >>> 日本雅馬拓YAMATO│等離子清洗機(jī)

日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)[產(chǎn)品打印頁面]

點(diǎn)擊看大圖

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以

產(chǎn)品名稱: 日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品型號: PC1000-5030

產(chǎn)品展商: 其它品牌

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

日本YAMATO大型等離子清洗機(jī) PC1000-5030 本產(chǎn)品是用等離子來進(jìn)行表面處理的專業(yè)裝置。具有高性能，力求操作簡便，快捷，可顯示數(shù)據(jù)。廣泛應(yīng)用于以電子材料為中心的各個(gè)行業(yè)中。用途:用于CSP、BGA、COB、基板的等離子處理。消除有機(jī)膜，金屬氧化膜。用于印刷電路板的干式清洗。界面活性處理。

日本YAMATO大型等離子清洗機(jī) 的詳細(xì)介紹

日本YAMATO大型等離子清洗機(jī)PC1000-5030
詢價(jià)或索取資料請點(diǎn)擊

RIE / DP mode selectable （RIE/DP模式切換選擇使用）
配備大型樣品室，適合大型基板清洗。

Specifications（規(guī)格簡介）

Model（型號）	PC1000-5030
Plasma method （等離子模式）	RIE • DP
Electrode（電極）	Parallel flat stage plate平行平板（電極間距可變）
RF generator（高頻輸出功率）	100~1000W
Oscillation frequency（振蕩頻率）	13.56MHz（水晶發(fā)振）
Control system（控制系統(tǒng)）	LCD Touch panel with PLC觸摸式液晶顯示操控盤
Chamber size （工作室尺寸）	(W)600×(D)370×(H)145mm
Stage size（工作臺尺寸）	(W)500×(D)300mm
Chamber material（工作室材料）	Aluminum
Reaction gas（反應(yīng)氣體）	O2,Ar,CF4,C5F8,SF6 or others
Purge gas（凈化氣體）	N2 or Dry air
Flow meter（流量計(jì)）	Mass flow control 2 line（雙路聚合流量控制）
Vacuum pump（真空泵排氣量）	700L/min
Gas system（氣路）	2 line (Reaction gas) , 1 line (Purge gas)
External dimension（外形尺寸）	(W)900×(D)950×(H)1,530mm
Power supply（電源供應(yīng)）	AC200/220/380V 3 phase 25A