Model（型號）

V1500X

Plasma method （等離子模式）

RIE • DP mode

Electrode（電極構造）

Parallel flat stage plate

Electrode material（電極材料）

SUS-304

Chamber temperature（工作室溫度）

Digital display（數(shù)碼溫度顯示）

RF generator（高頻功率）

100~1500W

Oscillation（振蕩頻率）

13.56MHz

Control system（控制系統(tǒng)）

LCD Touch panel with PLC

Tuning method（調(diào)諧方法）

Automatic and Manual自動和手動

Timer（定時）

1sec-9H 59min 59 sec

Chamber size（內(nèi)槽尺寸）

(W)600×(D)550×(H)600mm

Stage size（工作臺尺寸）

(W)460×(D)400mm

Chamber material（工作室材料）

Aluminum

Reaction gas（反應氣體）

O2,Ar,CF4混和氣體

Purge gas（凈化氣體）

N2 or Dry air

Flow meter（流量計）

Mass flow control 2 line雙路聚合控制

Vacuum pump（真空泵排氣量）

1,400L/min

Emergency stop switch(緊急停止開關)

Push type switch

Gas port（氣體端口）

2 pc (1/4"SUS swage - lock)

Purge port（凈化端口）

1pc (1/4"SUS swage - lock)

Vacuum port（真空泵端口）

1pc (SUS NW40)

External dimension（外形尺寸）

(W)900×(D)1,000×(H)1,700mm

Power supply（電源供應）

AC200/220/380V 3 phase 25A

Weight（重量）

Approx. 300kg